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Veeco外延設(shè)備濾芯的核心功能與應(yīng)用場(chǎng)景

更新時(shí)間:2025-05-19      瀏覽次數(shù):62
  Veeco外延設(shè)備濾芯的核心功能與應(yīng)用場(chǎng)景:
  1.液壓系統(tǒng)過濾
  作用:在外延設(shè)備的液壓系統(tǒng)中,濾芯用于過濾液壓油中的顆粒污染物(如金屬屑、氧化物、橡膠碎渣等),防止雜質(zhì)進(jìn)入高壓泵、控制閥等關(guān)鍵部件,避免磨損、卡滯或泄漏。
  典型場(chǎng)景:
  晶圓承載臺(tái)的升降、旋轉(zhuǎn)等運(yùn)動(dòng)依賴液壓驅(qū)動(dòng),濾芯保障液壓油清潔,確保運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性和定位精度。
  高溫外延工藝中,液壓系統(tǒng)可能因熱膨脹產(chǎn)生微小顆粒,濾芯可攔截這些污染物,防止系統(tǒng)失效。
  2.潤(rùn)滑系統(tǒng)過濾
  作用:在設(shè)備的傳動(dòng)部件(如軸承、齒輪、導(dǎo)軌)中,濾芯通過過濾潤(rùn)滑油中的雜質(zhì),減少摩擦面的磨損,延長(zhǎng)機(jī)械部件壽命。
  典型場(chǎng)景:
  外延生長(zhǎng)室的旋轉(zhuǎn)基座、氣體分配盤等部件需要持續(xù)潤(rùn)滑,濾芯防止油污中的顆粒劃傷精密表面。
  高速旋轉(zhuǎn)設(shè)備(如MOCVD反應(yīng)腔的氣體渦輪)依賴清潔潤(rùn)滑油,濾芯可避免渦輪葉片因污染導(dǎo)致振動(dòng)或失效。
  Veeco外延設(shè)備濾芯在外延設(shè)備中的特殊重要性:
  1.保障工藝穩(wěn)定性
  外延生長(zhǎng)對(duì)設(shè)備機(jī)械穩(wěn)定性要求高(如原子層沉積需納米級(jí)平整度),液壓/潤(rùn)滑系統(tǒng)的微小污染可能導(dǎo)致基片抖動(dòng)或溫度波動(dòng),濾芯通過維持油液潔凈,間接提升薄膜均勻性。
  2.防止交叉污染
  在MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)或CVD(化學(xué)氣相沉積)設(shè)備中,液壓油泄漏可能帶入反應(yīng)腔,濾芯可減少油污對(duì)晶圓的污染風(fēng)險(xiǎn)。
  3.延長(zhǎng)設(shè)備壽命
  液壓泵、伺服閥等關(guān)鍵部件成本高昂,濾芯通過過濾顆粒物,可顯著降低因磨損導(dǎo)致的維修頻率,尤其對(duì)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的量產(chǎn)設(shè)備至關(guān)重要。
 

 

電話:TEL

13832623369

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河北省廊坊市固安縣牛駝鎮(zhèn)

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